Le Microscope Électronique à Balayage (MEB) est l’outil qui permet de visualiser à très haute résolution la morphologie, la composition chimique et la cristallographie des échantillons. Grâce à l’analyse par spectroscopie en dispersion d’énergie (EDS), les éléments présents dans l’échantillon peuvent être déterminés.

Applications

  • Visualisation la morphologie des échantillons
  • Image en contraste de compositions (en utilisant des électrons rétrodiffusés).
  • Analyse de la composition chimique par génération de rayons X depuis l’échantillon (EDS).
  • Etude du comportement optoélectronique des semi-conducteurs par cathodoluminescence
  • Visualisation des zones de charge d’espace (EBIC)
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AVANTAGES

Résolution à fort grossissement (résolution < 5nm)

·

Grande profondeur de champ : plus de 300 fois celle obtenue par

microscopie optique

·

Analyse de la composition chimique (EDS)

Visualisation

topographique

Intraspec Technologies - Nos moyens - Microscopie électronique - Die examination

Inspection visuelle,
Visualisation de défauts

Imagerie de contraste en Z

(Numéro atomique)

Intraspec Technologies - Nos moyens - Microscopie électronique - contraste Z

Visualisation de matériaux différents

Microanalyse

EDS

Intraspec Technologies - Nos moyens - Microscopie électronique - analyse spectre EDS

Identification des éléments
chimiques dans l’échantillon,
Localisation des éléments
dans l’échantillon

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