La Microscopie Électronique à Balayage (MEB) est un outil qui permet de visualiser à très haute résolution la morphologie, la composition chimique et la cristallographie des échantillons. Grâce à l’analyse par spectroscopie en dispersion d’énergie (EDS), les éléments présents dans l’échantillon peuvent être déterminés.

Applications

  • Visualisation la morphologie des échantillons
  • Image en contraste de compositions (en utilisant des électrons rétrodiffusés).
  • Analyse de la composition chimique par génération de rayons X depuis l’échantillon (EDS).
  • Etude du comportement optoélectronique des semi-conducteurs par cathodoluminescence
  • Visualisation des zones de charge d’espace (EBIC)