La Microscopie Électronique à Balayage (MEB) est un outil qui permet de visualiser à très haute résolution la morphologie, la composition chimique et la cristallographie des échantillons. Grâce à l’analyse par spectroscopie en dispersion d’énergie (EDS), les atomes présents dans l’échantillon peuvent être déterminés.
Applications
- Visualisation la morphologie des échantillons
- Image en contraste de compositions (en utilisant des électrons rétrodiffusés).
- Analyse de la composition chimique par génération de rayons X depuis l’échantillon (EDS).
- Etude du comportement optoélectronique des semi-conducteurs par cathodoluminescence
- Visualisation des zones de charge d’espace (EBIC)
![Observation en microscopie électronique d'un bond pad](/wp-content/uploads/2020/06/intraspec-nos-moyens-microscopie-electronique-img-pres.jpg)
Visualisation MEB
topographique
![](/wp-content/uploads/2020/06/intraspec-nos-moyens-microscopie-electronique-die-examination.jpg)
Inspection visuelle,
Visualisation de défauts
Imagerie de contraste en Z
(Numéro atomique)
![](/wp-content/uploads/2020/06/intraspec-nos-moyens-microscopie-electronique-contrastez.jpg)
Visualisation de matériaux différents
Microanalyse
MEB/EDS
![](/wp-content/uploads/2020/06/intraspec-nos-moyens-microscopie-electronique-analyse-spectre-eds.jpg)
Identification des éléments
chimiques dans l’échantillon,
Localisation des éléments
dans l’échantillon